Piece w atmosferze obojętnej, zwane także piecami anaerobowymi, są przeznaczone do obróbki cieplnej przy użyciu gazów nieutleniających, takich jak azot, w środowisku uszczelniającym. Nadają się do obróbki cieplnej w atmosferze o niskim stężeniu tlenu.
Opis
Seria pieców z atmosferą obojętną jest stosowana w produkcji półprzewodników do wypiekania wstępnego płytek krzemowych, arsenku galu, niobianu litu, szkła przed powlekaniem PR, wypalania twardej folii po powlekaniu PR i wypalania w wysokiej temperaturze po wywołaniu; Nadaje się również do działów produkcyjnych i badań naukowych, takich jak elektroniczne wyświetlacze ciekłokrystaliczne, LCD, CMOS, IS i laboratoria; może być również stosowany do suszenia, obróbki cieplnej, starzenia i innych testów wysokotemperaturowych przedmiotów nielotnych, niepalnych i niewybuchowych.
Główne parametry
►Parametry techniczne
Pojemność: dostosowana do produktów
Zakres temperatur: Otoczenia + 50°C ~ 250°C
Zawartość tlenu: ≤50 ppm
Jednolitość temperatury: ±2,5%
Szybkość narastania: kontrolowana
Wlot azotu: Φ8
Przepływ azotu: 0-240 l/min * 2 kanały
►Struktura
. Wnętrze piekarnika: Wykonane ze stali nierdzewnej i spawane bez szwu argonem.
. Hermetycznie uszczelniona: Komora jest uszczelniona w celu zmniejszenia poziomu tlenu.
. Struktura wlotu powietrza: Umożliwia wypełnienie komory gazami nieutleniającymi.
. Analizator O2: Precyzyjnie dostosuj poziom tlenu w zakresie 0,5 ~ 21%
► System kontroli temperatury
Inteligentny regulator temperatury JAPAN RKC, programy i ustawianie wartości stałych, automatyczne dostrajanie AT, korekcja przesunięcia i utrzymywanie wyłączenia zasilania.
► Wymuszona konwekcja powietrza
Opatentowany kanał powietrzny w systemie cyrkulacji gorącego powietrza może automatycznie regulować równomierność temperatury.
Funkcje piekarników anaerobowych (obojętnych).
► Hermetycznie uszczelnione studio ze stali nierdzewnej zapobiegające przedostawaniu się atmosfery zewnętrznej
► Do beztlenowej obróbki cieplnej stosować azot w postaci gazu obojętnego
► Przepływomierz i manometr są na wyposażeniu
► Wielofunkcyjne urządzenia zabezpieczające
Opcje
► Sterownik programowalny PLC+7”.
► Alarm z trójkolorowym migającym światłem
► Ogranicznik nadmiernej temperatury
► Ręczne urządzenia zabezpieczające
Dlaczego warto wybrać piece w atmosferze obojętnej?
Obecnie w obwodach zastosowano materiały okablowania z aluminium na miedź o niższej rezystywności. Dlatego też części miedziane poddane obróbce cieplnej w zwykłym piecu suszącym mogą się utlenić, powodując defekty. Dodatkowo przeprowadza się starzenie w temperaturze 250 st. C, aby sprawdzić, czy dane zapisane w pamięci flash nie zostały usunięte w wyniku elektromigracji oraz czy wybrzuszenia nie uległy utlenieniu, w związku z czym zawartość tlenu musi zostać obniżona do <100 ppm. Ten piekarnik anaerobowy został opracowany, aby sprostać tym wymaganiom.
Aplikacja
Piece w atmosferze obojętnej są używane głównie do utwardzania kleju BPO / kleju PI / kleju BCB, układów scalonych (wafer, CMOS, Bumping, TSV, MENS), FPD, precyzyjnych komponentów elektronicznych i innych materiałów w środowisku o niskiej zawartości tlenu do testów suszenia i starzenia .
